电子车间净化工程概述
电子车间净化工程是为了提供一个清洁、恒温、恒湿的环境，以保证电子产品的质量和稳定性。这种工程主要应用于半导体、微电子、光电技术、集成电路、显示屏、精密仪器制造等领域。
净化工程的关键要素
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空气净化系统：
- 电子厂净化车间通常采用初效、中效、高效三级过滤器来处理空气。
- 对于不同级别的空气净化处理，应选择合适的过滤器。例如，对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器；而对于100级、1000级、10000级及100000级的空气净化处理，则应采用初、中、高效三级过滤器。
- 空气净化系统的设计需要考虑风量、温度、湿度、压差、设备排风等因素。
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温湿度控制：
- 电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间，以防止静电产生，保护CMOS集成不受损坏。
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噪声控制：
- 电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）不应大于65dB(A)。
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正压控制：
- 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
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新鲜空气量：
- 新鲜空气量应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和，以及保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3中的较大值。