洁净度检测方法与关键控制指标
核心检测方法
- 悬浮粒子计数法：通过激光粒子计数器直接测量不同粒径粒子浓度，是电子行业最常用方法。
- 微生物采样法：针对医药、食品等领域，通过培养皿沉降或空气采样器收集微生物并计数。
- 综合指标法：结合温湿度、压差、风速等参数，如十万级车间要求≥0.5μm粒子≤350万个/m³，浮游菌≤500个/m³。
关键控制指标
- 压差：不同洁净等级车间之间压差≥5Pa，洁净区与非洁净区≥10Pa。
- 温湿度：电子厂房通常控制温度波动±1～2℃，湿度波动±5%～10%，锂电池干区需严格控制露点。
- 照度：生产区照度≥300Lx，辅助区200～300Lx。
不同行业洁净度应用差异
- 电子行业：侧重粒子控制，如TFT-LCD、半导体需4～5级高洁净环境。
- 医药行业：强调微生物控制，A级区需无菌环境。
- 食品行业：关注交叉污染，洁净度等级多为10万级～万级[[5]]。